1、用膠管與冷凝水連接，用真空膠管與真空泵相聯。
2、先將水注入加熱槽。選用純水，自來水要放置1-2天再用。
3、調正主機角度：只要松開主機和立柱連結螺釘。主機即可在0-45度之間任意傾斜。
4、接通冷凝水，接通電源220V/50Hz，與主機連接上蒸發瓶（不要放手），打開真空泵使之達一定真空度松開手。
5、調正主機高度：按壓下位于加熱槽底部的壓桿，左右調節弧度使之達到合適位置后手離壓桿即可達到所需高度。
6、打開調速開關，綠燈亮，調節其左側旁的轉速旋鈕，蒸發瓶開始轉動。打開調溫開關，綠燈亮，調節其左側旁的
調溫旋鈕，加熱槽開始自動溫控加熱，儀器進入試運行。溫度與真空度一到所要求的范圍，即能蒸發溶劑到接受瓶。
7、智能一體化蒸餾儀蒸發完畢，首先關閉調速開關及調溫開關，按壓下壓桿使主機上升，然后關閉真空泵，并打開冷凝器上方的放空閥，使之與大氣相通，取下蒸發瓶，蒸發過程結束。

在半導體制造中，使用洗滌溶液從晶片表面去除金屬和其他污染物的洗滌過程占整個工藝過程的約20%-30%。目前，洗滌溶液的更換頻率通常基于使用時間來確定的。然而，近年來，降低制造成本和減少環境影響的需求要求更有效地使用洗滌溶液。因此，有必要實時監測污染程度。為了滿足這些需求，島津一直在研究LIBS技術，因為LIBS技術的研發可以利用島津自身廣泛的激光光學和光譜技術優勢蒸餾法測氨氮?的具體操作方法。 LIBS是一種可以輕松同時測量多個元素的技術。當樣品被激光照射時，它通過樣品表面的熱蒸發產生等離子體。該等離子體發出特征光是樣品所*的。因此，可以通過檢測所得光譜來測量元素。通過激光照射在特殊板上蒸發至干燥的樣品產生等離子體，然后檢測從等離子體發射的光以識別和定量樣品中包含的金屬元素。檢測限為ppm級別。該技術基于LIBS測量原理，提供世界的靈敏度水平(根據島津截至2018年7月的調查)。目前的原型機尺寸為1 m×1 m蒸餾法測氨氮的?具體操作方法，可與半導體晶圓清洗系統連接。從取樣到測量洗滌溶液的整個過程是*自動化的，并且可以在大約一分鐘內完成12種痕量金屬組分的同時測量，例如銅、鋁和鈦。由于能夠更好地理解合適的洗滌溶液更換頻率，使得該技術的實際應用將提供諸如提高產率和降低制造成本等益處。